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參考文獻：
【美】Peter Van Zant ，韓鄭生譯，芯片制造-半導體工藝制程實用教程（第六版），電子工業出版社；【日】佐藤淳***，王藝文，王姝婭譯，圖解入門半導體制造工藝基礎精講（第四版），機械工業出版社；；3.余盛，芯片戰爭，華中科技大學出版社；
(文章來源于儀器網)
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