衍射光學元件由于其特殊的性質在各種光學系統中得到了越來越多的發展和應用。對于成像光學系統中的衍射光學元件,通常采用單點金剛石車削的方法加工。在衍射光學元件加工的過程中,難免會產生***些加工誤差影響衍射效率。

衍射效率是評價衍射光學元件以及含有衍射光學元件的折衍射混合光學系統的重要指標之***。光線通過衍射光學元件后,會產生多個衍射***次,***般只是關注主衍射***次的光線,其他衍射***次的光線在主衍射***像面上形成雜散光,降低像面的對比度。因此,衍射光學元件的衍射效率直接影響到衍射光學元件的成像質量,對衍射光學元件衍射效率的準確測量是十分必要的。

根據標量衍射理論,當光束從衍射光學元件的基底材料斜入射到空氣中時,單層衍射光學元件的第m衍射***次的衍射效率為

m 為衍射***次，d為衍射光學元件的表面微結構高度，n（λ）為衍射光學元件的基底材料在波長為λ時的折射率。從式中可以看出，單層衍射光學元件的衍射效率只在設計波長處具有***的衍射效率；當偏離設計波長時，衍射光學元件的衍射效率會明顯下降。

ARS角分辨散射測量可實現不同類型的衍射光柵測量，通過不同衍射***的光散射分布計算得到衍射效率。

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