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VUVaS 2000 雙光束真空紫外光譜儀是McPherson 公司推出的世界***的檢測不同種類的材料在真空紫外波段（115-380nm 波長范圍)的吸收譜、透射譜和反射譜的檢測儀器。可以根據用戶的要求定制不同規格的樣品室和樣品架，測量不同大小、不同厚度的樣品，并可進***步選擇偏振和熒光發射測量，為不同材料在真空紫外波段的研究與應用提供***先進的測試手段。由于VUVaS 2000 型真空紫外光譜儀采用的是真空斬波和鎖相放大技術從而極大地提高了信號檢測的靈敏度和信躁比，是目前在這個波段開展上述弱信號測量***際******的儀器產品。

1.      光學特征
光度精確度 （157nm處）≤0.05%T(RSD)
光度準確度 (115nm-380nm) ≤0.3%T(RSD) 標準0.2%T（RSD）
光學穩定性 0.5%T/小時
光學噪聲 優于0.17%T
2．光譜特征
波長范圍 氘燈連續光源提供波長115nm-380nm
單色儀 McPherson公司改進的Seya-Namioka Model 234/302單色儀
光柵 III型鍍MgF2 的凹面全息光柵，1200刻線/毫米
相對孔徑 f/4.5
波長準確度 0.1nm
波長重復性 ±0.03nm
分辨率 0.01mm狹縫分辨率為0.1nm
帶通 帶通寬度隨狹縫寬度改變從0.1nm-10nm可調
3．樣品測量
光束 校準/可變
斬波器 反射型斬波器（標準工作頻率為90Hz）
探測器 R268型光電倍增管
測量方式 透射譜（吸收譜）、反射譜、散射譜、激發譜
探測器位置 相對于發射光束成20°-180°角
樣品位置 相對于發射光束成0°-90°角
樣品架尺寸 可容納1英寸直徑或2x2英寸或2英寸直徑的樣品（根據要求訂制）
濾光片 5個可放25mm直徑濾光片的位置
配件 225nm長通濾光片用于230nm-380nm的光譜范圍
4.真空系統
真空泵 兩個渦輪分子泵，閘式閥門控制凈化樣品區域
真空范圍 典型工作壓力為10-5torr,樣品區可被單獨凈化
5．控制系統
控制器 LabView windows軟件用于波長控制和信號恢復，圖形式/數字式輸出反射譜及透射譜信號
輸入電壓 220 V / 15 安培 / 50 Hz
工作環境 一般實驗室環境