德***Sentech激動掃描系統(tǒng) MDPpro

少子壽命測量儀器的特征在于以1mm分辨率對500mm的***個面在不到4分鐘內完成掃描。電阻率和少子壽命的測量完全無觸摸。利用微波檢測光電導率(MDP)同時測量少子壽命、光電導率、電阻率和p/n導電類型的變化。

MPDPro設計用于對電特性進行分析，在四分鐘的測量時間內，對1毫米分辨率，500毫米磚磚(或晶片)自動掃描。進行完全非接觸測量。

MDPpro系列具有快速、靈活，自動掃描多晶硅磚和晶片的穩(wěn)固設計。同時測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度，所有測量圖形同時繪制。這個儀器的設置非常簡單，僅需要電源。測量必要性包括了工作站與數(shù)據(jù)庫。樣品裝載可以手動或由自動系統(tǒng)來完成。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm標準磚的測量速度小于4分鐘。電阻率自動掃描選項具有長時間穩(wěn)定性而無需頻繁重新校準。用于參考測量的校準庫也是可用的。由于偏析和預期摻雜類型的過補償導致的導電類型轉換的空間分辨測量可以以高空間分辨率來研究。

該儀器被設計用于工藝和材料的質量監(jiān)控，例如單晶或多晶硅。多晶硅磚切割標準的自動輸出。能夠根據(jù)爐子的輸出質量進行單獨的爐子監(jiān)控進行優(yōu)化和決定投資。MDPpro是多晶硅磚生產商以及爐子技術生產商的標準儀器。

優(yōu)勢

• 脫機或晶圓的整體工具系列。少子壽命、光電導率、電阻率、p/n導電類型變化和幾何樣品平整度的同時自動掃描。
• 對于156x 156 x 400 mm標準磚，測量速度小于4分鐘，分辨率為1mm，所有5幅測量圖形同時繪制。
• 堅固耐用的設計和易于設置的性能。對于安裝，僅需要電源。帶有數(shù)據(jù)庫的工作站包含在下面的隔間中。