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 激光干涉儀是激光在計量領(lǐng)域中*成功的應(yīng)用，利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，在不同領(lǐng)域都有極為廣泛的應(yīng)用，如利用F-P干涉儀和半導(dǎo)體激光二極管測量大型精密離心靜態(tài)臂長；利用電子散斑干涉技術(shù)實現(xiàn)物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達實現(xiàn)對地表變形進行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術(shù)對靜態(tài)斷裂現(xiàn)象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強度分布，從而被用來制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術(shù)可用于位移及形變測量、應(yīng)變與應(yīng)力分析、缺陷或損傷探測、振動模式可視化及測量、晶體和蛋白質(zhì)生長過程監(jiān)測、流體中密度場和熱對流場的觀察與測量、以及光學(xué)材料與器件的參數(shù)測量等。

    本文簡要介紹***下激光干涉儀在如下幾個領(lǐng)域的應(yīng)用情況。

    1. 位移傳感器

    激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應(yīng)用已成為***大發(fā)展趨勢，其特點是測量精度快、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計***個精密導(dǎo)軌，將反射鏡同被測傳感器放在***起同步檢測，從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與HP干涉儀對定位移進行測試對比，得出往復(fù)測試實驗結(jié)果。
         

    2. 數(shù)控機床檢定中的應(yīng)用

    隨著數(shù)控機床應(yīng)用的普及，采用激光干涉儀對數(shù)控機床進行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等在線位置測量、誤差修正和控制，其中雙頻激光干涉儀應(yīng)用*多。與傳統(tǒng)的檢定方法相比，激光干涉儀具有較高的精度和效率，并能及時處理數(shù)據(jù)，為機床誤差修正提供依據(jù)，位置精度是機床的重要指標，目前各***機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。雙頻激光干涉儀在機床中的應(yīng)用是其它傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)和替代的。

    未來，激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等方面進行發(fā)展，從測量數(shù)據(jù)的可靠性、精確性，以及測量儀器的便攜性等，不斷改善激光干涉儀的各項性能。

    深圳市中圖儀器科技有限公司激光干涉儀為機床校準帶來前所未有的高效率，全新系統(tǒng)設(shè)計能滿足顧客更高的要求，這款產(chǎn)品，可以測量線性、直線度、俯仰角、偏擺角、滾動角。

SJ6000激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

技術(shù)線性測長精度：±0.5ppm(0~40℃)

激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm

分辨率：0.001um