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商品編號：85207

供應無塵室氣體監(jiān)視器

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產地：更新時間：2021-01-19 13:24

品牌：型號：供應無塵室氣體監(jiān)視器

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隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為***個很重要的課題。
    在***個64-Mbit的集成電路處理中，設計要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。
    在這里用到了化學增強光學電阻，而這種電阻產生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質子等，會導致零件的失效。
    于是，為了保證正常生產就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。

    該系統(tǒng)為了能夠高敏感度測量酸堿氣體使用了擴散吸取式采樣器。
    該擴散吸取式采樣器吸收液體中的酸堿氣體后，再將其用離子色譜進行分析。
    還有多通道型（16點）選配件供選擇。

    兩種型號:CM501，主要測量堿性氣體;CM502，主要測量酸性氣體（氧化物、磷酸、SO2等）。

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