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性能

• 可用量程：大0-20 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請(qǐng)參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽）

• 可調(diào)比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

• 標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）

• 可重復(fù)性：0.2%滿量程

• 標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）

• 氣動(dòng)閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（大值，氦氣）

• 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

• 兼容氣體：98種（MCE/MCV系列）或130種（MCES/MCVS系列）預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

• 工作溫度：-10°C至+60°C

• 大內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）

• 耐受壓力：175 psig（190 psia）

• STP/NTP：用戶可選（默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）