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Raith

Raith: 德國Raith Raith 有限公司生產一系列供研發(fā)使用的電子束光刻系統(tǒng)。該系統(tǒng)能滿足大學及工業(yè)生產中的研究人員、設計人員和工程師的要求。該公司的電子束光刻產品既包括適用于SEM（掃描電子顯微鏡）或FIB（聚焦離子束）的電腦制圖附件，也包括對整個硅片和掩膜具有處理能力的完整系統(tǒng)。e_LiNE，這一分辨率極高的電子束光刻系統(tǒng)是一個可供大學和其他學術機構使用的、已達到最新技術發(fā)展水平的工具?？晒┻x擇使用的納米操作臺、EBID 和EBIE 擴展了該系統(tǒng)的功能，使其適用于各種納米工程工作站。e_LiN…… 詳情>

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電子束刻蝕系統(tǒng)

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德國Raith電子束光刻系統(tǒng)

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